超快激光打标机采用高稳定性的进口飞秒激光器搭配高精度的二维扫描振镜，结合自主开发的振镜打标运动一体式控制系统，配合全自动升降式料仓及吸附式机械手，可在8英寸基片上进行文字、数字、字母、图形等打标，基片材料包括硅片、玻璃、石英、陶瓷等。 l 设备主体采用龙门式结构，主体材质为天然花岗岩，热稳定性高，抗振性和抗压性好。 l 设备XY轴采用直线电机驱动，无反向间隙，传动精度好，响应迅速，并配备直线光栅尺，定位精度高。 l 设备内置8英寸晶圆自动上下料系统，可实现8英寸晶圆的自动上料、加工及下料。 l 机床配备高稳定性的超快飞秒激光，搭配高精度的扫描振镜及聚焦系统以及视觉定位系统，可实现芯片的自动上料、自动识别，自动定位、自动打标及下料。 l 设备激光打标精度≤20μm，激光加工最小线宽不大于0.005mm。